一、機器特點： 
①采用雙氣缸上下控制；下工位行程可調(diào) 
②恒溫設(shè)計，膜片周邊擴張均勻適度； 
③加熱、拉伸、擴晶、固膜一次完成； 
④加熱溫度、擴張時間、回程速度均勻可調(diào)； 
⑤操作簡便，單班產(chǎn)量大 
整機采用***零部件，所用加工部件都使用**度鋁合金及304不銹鋼制造，確保設(shè)備的耐久性；溫度控制器件采用原裝宇電數(shù)顯PID人工智能溫控儀。

二、技術(shù)參數(shù)： 
1．電壓：220VAC/50Hz, 功率：600W（10寸）,300W（8寸）,150W（4寸，6寸） 
2．工作氣壓：5Kg/cm2 溫度范圍：室溫~80℃（建議55-60℃） 
3．上氣缸行程：300mm（10寸）250mm（8寸），200mm（4寸，6寸） 
下氣缸行程：75mm（可雙向調(diào)節(jié)） 
4．外型尺寸：10英寸 400x350x1250mm(長x寬x高） 機器重量：38Kg 
8英寸 350x300x1180mm(長x寬x高） 機器重量：30Kg 
4英寸,6英寸270x220x920mm(長x寬x高） 機器重量：20Kg 
四、操作步驟： 
1．將氣壓表擰入設(shè)備左側(cè)過濾器螺孔中。插上電源，氣管接頭插入氣源； 
2．打開電源開關(guān)和溫控開關(guān)，將溫度設(shè)定于55℃（不同晶片膜溫差異士5℃）； 
設(shè)置給定值：在基本顯示狀態(tài)下可以通過按∧，∨，＜鍵來修改下顯示窗口顯示的設(shè)定溫度控制值。按∨鍵減小數(shù)據(jù)，按∧鍵增加數(shù)據(jù)，可修改數(shù)值位的小數(shù)點同時閃動（如同光標）。長按并保持不放可以快速地增加/減少數(shù)值，并且速度會隨小數(shù)點右移自動加快（2級速度）。而按＜鍵則可直接移動修改數(shù)據(jù)的位置（光標），按∧或∨鍵可修改閃動位置的數(shù)值，操作快捷。 
3．通氣后上壓盤自動回到**上方，按下氣缸下按鈕，下壓盤回至**下方（反復(fù)幾次下氣缸動作，將上升速度調(diào)整至適合速度） 
4．松開鎖扣，掀起上工件板，先將擴晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正**，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。 
5．按下氣缸上按鈕，下壓盤徐徐上升，薄膜開始向四周擴散，晶粒間隔逐漸拉大，當(dāng)晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升，將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。 
6．按上氣缸按鈕（始終按壓）上壓盤下降，將擴晶環(huán)壓合后，松開按鈕上壓盤自動回至**上方。 
7．按下氣缸下按鈕，下壓盤下降至**下方，取出擴晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。 
8．調(diào)節(jié)行程螺母在設(shè)備后面**下部開孔處，調(diào)節(jié)好后請緊固鎖緊螺母。 
9．上氣缸速度調(diào)節(jié)閥在氣缸上下部。下氣缸速度調(diào)節(jié)閥在設(shè)備后部小方孔處。

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